|
AT
|
|
ARU
|
|
a member of Kaicoh group
|
|
automation & innovation laser technology |
|
Ataruの技術 |
|
ドライプロセス レーザクリーニング |
|
フラットトップ分布レーザクリーニング |
|
非接触 レーザクリーニング |
|
Fire シリーズ |







|
レーザ光誘導プラズマ衝撃波クリーニング |
|
FireWAVE800/2000 |
|
FireWAVE800/2000はサブミクロンのパーティクルをドライな環境で除去することができるレーザクリーナです。レーザ光を直接照射する従来の方法と異なり、レーザ光に誘導された衝撃波で除去するのが特徴です。レーザ光を直接照射しないのでワークへのダメージがありません。 また、プラズマクリーニングのようにイオンを直接照射するものではありませんので帯電することもなく、無機パーティクルを除去することができます。 除去する力は衝撃波による物理的な力です。 |

|
鉄板 |
|
シリコンウエハ |


|
電話: +81-3-5652-4131 Fax: +81-3-5652-4160 E-mail: sales-jp@ataru.com.sg(日本) sales@ataru.com.sg (シンガポール) |
|
お問い合わせ |